激光技术

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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究

龙芋宏, 熊良才, 史铁林, 柳海鹏

2006, 30(3): 235-237.

关键词: 激光技术, 光电化学, 准分子激光, 刻蚀, 硅

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水辅助准分子激光微加工硅的实验研究

龙芋宏, 熊良才, 史铁林

2006, 30(6): 567-569.

关键词: 激光技术, 水辅助微加工, 准分子激光, 刻蚀, 硅

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